電気式湿度計は、半導体等を用いたセンサーを感部とする。機器への組込みが容易なことから、空気調和設備の自動制御や電子式記録・表示装置に接続して用いられることも多い。
最も一般的な電子センサーは、公共的な気象観測に用いられる容量性及び抵抗性のものである。これらはともに感湿体として多孔質のセラミックス又は吸湿性の高分子膜を用いるものである。
容量性センサーは、感湿体を挟む2つの板状電極の間に交流電圧を印加することによって、感湿体の水分吸収に伴う誘電率の変化がもたらす電極間の静電容量の変化から湿度を測定する。抵抗性センサーは、感湿体の水分吸収に伴う導電性の変化を利用する。これらによって得られた計測値は普通の計量器（容量計・抵抗計）やデータ収集ボード (data acquisition board) によって可視化される。
測定原理の性質上、温度変化による誤差を避けられず、気象観測用としては、これを温度変化1℃につき湿度0.2％以内に抑えなければならないため、実際の製品では温度センサーを用いた補正機構を持つことが多い。また、感湿体にフィルターを装着しているとはいえ、表面の汚損等による経時変化が避けられないため、定期的な整備と校正とが必要である。
気象観測用として許容される器差は、湿度±5％（ラジオゾンデ用の場合、湿度10％）である。
冷却式露点計は、観測面を冷却していき、結露を生じた時の温度を測定するものである。低湿度の測定に適する。冷却には、冷凍機・ペルチェ効果による電子冷却・ドライアイス・液体窒素等が用いられる。温度の測定には、熱電対・抵抗温度計等が用いられる。
肉眼判定式露点計 : 鏡の表面の結露の出現・消失点を肉眼で確認するもの。過渡現象であるためばらつきが大きくなる。
自動平衡式露点計 : 観察面の付着量の増減がない平衡状態の温度を測定するもの。平衡状態で測定するため精度が高い。露・霜の量は、表面反射光（光センサーを用いる）、α線吸収量（電離箱を用いる）・共振周波数（水晶振動子を用いる）の変化等を利用して測定する。
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露点式湿度計の感部である塩化リチウム露点計は、塩化リチウム水溶液を塗布した膜の表面における水蒸気圧が周囲の気体の水蒸気圧と等しくなる温度を測定するものである。
グラスウールで覆った金属管に、1対の加熱用電熱線を巻き、その上から塩化リチウム水溶液を塗布する。これに交流電圧を印加して温度を上昇させていくと、水分の蒸発にともなってグラスウール内のイオンが減少していき、電流がほとんど流れなくなる（通電をやめると、吸湿性の高い塩化リチウムは再びイオン化し、電流が流れるようになる）。このとき、グラスウール表面の水蒸気圧と周囲の気体の水蒸気圧とが等しくなっていることを利用して露点を求める。温度の測定には電気式温度計を用いるが、気温の測定の場合と異なり、抵抗体には白金のほかにニッケルを使用することもできる。
気象観測用として許容される器差は、湿度5％（感部のみについて湿度3％）である。